產(chan) 品特點
全新外觀設計，適配實驗室實驗操作
*進的設計理念，模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(ge) 性化定製
可實現不同功能模塊的自由組合定製
配載精密的運動控製係統，提高實驗精度及重複性
產(chan) 品參數
轉速範圍：20-10000rpm
轉速分辨率：±1rpm
加速度可調範圍：20-50000rpm/s
單步時長：3000s
時間分辨率：0.1s
適用基片尺寸：4/6/8寸標準晶圓，非標準基片可定製載物盤
顯影噴嘴距離基片高度可調，可調範圍10-50mm
可添加背洗功能（根據客戶需求而定）
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